Computerchips & EUV-Lithografie, ohne Deutschland kein moderner Chip
Wer in diesen Tagen ein Smartphone in der Hand hält, einen Tesla fährt, ein KI-Modell trainiert oder einen Windpark steuert, benutzt einen Halbleiterchip, der in der Regel nicht in Deutschland gefertigt wurde, meistens in Taiwan, Südkorea oder den USA. Die meisten Menschen ziehen daraus den vorschnellen Schluss, dass Deutschland bei der Chipherstellung „den Anschluss verloren" habe. Dieser Schluss ist falsch. Genauer gesagt: Er übersieht die wichtigste Tatsache der modernen Halbleiterfertigung. Kein einziger 3-Nanometer-Chip auf der Welt entsteht ohne deutsche Technik, nicht bei TSMC in Taiwan, nicht bei Samsung in Korea, nicht bei Intel in Arizona, und auch nicht künftig bei ESMC in Dresden. Das Herzstück jeder modernen Chipfabrik, die EUV-Lithografiemaschine, kommt zwar aus den Niederlanden von ASML. Aber ihre Optik baut ausschließlich Zeiss SMT in Oberkochen, und ihre Lichtquelle ausschließlich Trumpf in Ditzingen. Deutschland sitzt damit an einem der strategisch wichtigsten Punkte der gesamten Weltwirtschaft, nur eben unsichtbar, hinter den Kulissen, bei Familienunternehmen in schwäbischen Kleinstädten. Diese Seite erzählt, warum das so ist, wer die beteiligten Firmen sind, wie die Technik funktioniert, und wo Deutschland gleichzeitig dramatisch abhängig ist: bei den KI-Chips von NVIDIA.
Das deutsche Chip-Monopol in Zahlen
Die Zahlen sind so klar, wie sie in der Wirtschaftspolitik selten sind. Es gibt keine nennenswerte Konkurrenz, keine Second Source, keinen chinesischen Nachbau, bis heute nicht. Wer moderne Chips belichten will, muss ASML kaufen, und ASML muss Zeiss und Trumpf kaufen. Punkt.
Diese vier Zahlen sind der Kern einer der wenigen echten Monopol-Positionen, die Deutschland in einem wirklich strategischen Hochtechnologie-Markt innehat. Weltweit haben bis 2026 nur rund 250 EUV-Scanner ihre Kunden erreicht, jeder einzelne davon trägt Optik aus Oberkochen und Laser aus Ditzingen. Zum Vergleich: Auf der gesamten Welt gibt es mehr McDonald's-Filialen als jemals ausgelieferte EUV-Scanner. Es ist ein winziger, präziser und absolut unverzichtbarer Markt.
Zeiss SMT und Trumpf, die beiden Monopolisten
Beide Unternehmen sind in Familienbesitz beziehungsweise stiftungsgetragen. Beide sitzen in Baden-Württemberg, beide sind seit Jahrzehnten im Halbleitergeschäft, beide haben ihre Monopolposition nicht durch Übernahmen aufgebaut, sondern durch stures, lange währendes Forschen und Perfektionieren, genau die Tugenden, die das öffentliche Deutschland-Bild gerade verloren zu haben scheint.
Carl Zeiss SMT GmbH
Zeiss SMT (Semiconductor Manufacturing Technology) ist die Halbleitersparte des Oberkochener Zeiss-Konzerns. Die Sparte liefert als weltweit einziger Hersteller die Abbildungs- und Beleuchtungsoptik für ASMLs EUV-Lithografiemaschinen. Eine EUV-Optik besteht aus Dutzenden ultrapräzise geschliffener Spiegel, deren Oberflächenabweichung im Bereich weniger Atomlagen liegt, umgerechnet auf die Erdoberfläche wäre das eine Unebenheit von wenigen Zentimetern. Zum Zeiss-Konzern gehören auch Mikroskope, Messgeräte und medizintechnische Optiken; die Halbleitersparte ist heute aber der Umsatztreiber und die profitabelste Sparte. 2016 hat ASML rund 1 Milliarde Euro direkt in Zeiss SMT investiert und hält seither rund 24 Prozent.
Quelle: zeiss.de/smt · Geschäftsbericht Carl Zeiss AG 2024/25
Trumpf SE + Co. KG
Trumpf ist weltweit der führende Hersteller industrieller Laser und Werkzeugmaschinen, in Familienbesitz (Familie Leibinger). Für die EUV-Lithografie liefert Trumpf den 30-Kilowatt-CO2-Laser, der im Herzstück einer EUV-Lichtquelle sitzt. Dieser Laser verdampft 50.000 Mal pro Sekunde mikroskopische Zinntröpfchen und erzeugt dabei Plasmablitze, die extrem-ultraviolettes Licht mit 13,5 nm Wellenlänge aussenden, genau das Licht, mit dem die Chipstrukturen auf den Wafern belichtet werden. Kein anderes Unternehmen der Welt hat diesen Laser jemals in vergleichbarer Leistung und Zuverlässigkeit gebaut. Trumpfs Halbleitersparte ist hochprofitabel und macht rund ein Viertel des Konzernumsatzes aus.
Quelle: trumpf.com · Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT Aachen
Beide Firmen illustrieren ein oft übersehenes Muster: Deutschland ist in der Chipindustrie nicht bei den Endprodukten (den Chips selbst) stark, sondern bei der Ausrüstung zweiter Ordnung, also bei Maschinen und Komponenten, ohne die andere Länder ihre Chips nicht bauen können. Diese Position ist ökonomisch nicht ganz so laut wie ein eigener Hyperscaler oder ein eigener GPU-Champion, aber sie ist strategisch mindestens so wichtig.
Wie ein EUV-Scanner funktioniert, in vier Schritten
Die meisten Menschen haben nie einen EUV-Scanner gesehen. Er ist etwa so groß wie ein Bus, wiegt über 180 Tonnen und muss in Dutzenden Luftfrachtflügen an die Kunden geliefert werden. Einen Preis nennt ASML für seine EUV-Systeme nicht; die kursierenden Beträge sind Schätzungen aus dem Markt, deshalb steht hier keiner. Was darin passiert, klingt wie Science-Fiction, funktioniert aber, seit rund zehn Jahren, millionenfach am Tag.
Der EUV-Prozess, Schritt für Schritt
- Zinntröpfchen fallen. In einer Vakuumkammer fallen mikroskopisch kleine Tröpfchen flüssigen Zinns, etwa 30 Mikrometer groß, 50.000 Mal pro Sekunde durch den Raum.
- Der Trumpf-Laser schießt. Ein Hochleistungs-CO2-Laser aus Ditzingen trifft jedes einzelne Tröpfchen zweimal: einmal, um es zu einer dünnen Scheibe zu formen, und einmal, um es zu einem Plasma zu verdampfen. Das Plasma strahlt kurzzeitig extrem-ultraviolettes Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern ab, etwa 14 Mal kürzer als bisherige Lithografie-Lichtquellen.
- Die Zeiss-Optik fokussiert. Weil EUV-Licht in jeder bekannten Materie absorbiert wird, kann man es nicht wie normales Licht durch Linsen lenken. Stattdessen reflektieren über ein Dutzend ultrapräzise geschliffener Spiegel aus Oberkochen das Licht und formen es zu einem Strahl, der das Muster auf einer Maske trägt und es auf den Wafer abbildet.
- Der Wafer wird belichtet. Auf einem 300-mm-Silizium-Wafer werden pro Sekunde mehrere Quadratzentimeter Chipstrukturen belichtet, mit Strukturen so fein, dass sie nur noch wenige Dutzend Atomlagen breit sind. Aus diesem belichteten Wafer werden später Hunderte von Chips, wie sie in Smartphones, Grafikkarten und Rechenzentren verbaut werden.
Jeder dieser vier Schritte ist ein jahrzehntelang perfektioniertes Zusammenspiel zwischen ASML, Zeiss SMT und Trumpf, koordiniert in einer der engsten industriellen Partnerschaften, die es in Europa gibt. Als ASML 2017 die ersten EUV-Scanner ausliefern konnte, war das das Ergebnis von rund 17 Jahren gemeinsamer Entwicklung und etwa 9 Milliarden Euro Forschungsaufwand, einen erheblichen Teil davon hat Deutschland getragen.
Die nächste Stufe heißt High-NA, und sie läuft bereits
Lithografie entwickelt sich in Stufen, und jede Stufe hat eine physikalische Kennzahl. Die erste ist die Wellenlänge: Die etablierte Tauchlithografie arbeitet mit 193 Nanometern, EUV mit 13,5. Die zweite ist die numerische Apertur, ein Maß dafür, wie weit ein optisches System das Licht bündelt. Bei den bisherigen EUV-Anlagen liegt sie bei 0,33, bei der neuen Generation bei 0,55. Das ist der ganze Unterschied, den das Kürzel High-NA bezeichnet.
Bekannt sind bislang drei Empfänger: Intel hat 2024 das erste kommerzielle System integriert und als erstes Unternehmen auch die zweite Generation abgenommen, das belgische Forschungsinstitut imec hat im März 2026 ein System erhalten, und SK hynix hat im September 2025 das nach eigenen Angaben erste High-NA-System für die Massenfertigung von Speicherchips in Betrieb genommen. Für Samsung, TSMC und Rapidus, die in vielen Übersichten mitgenannt werden, gibt es keine Bestätigung durch das Unternehmen oder durch ASML. Für Oberkochen und Ditzingen ändert die neue Stufe nichts an der Rolle, im Gegenteil. Die 760 Millionen Euro, die ASML 2016 zusagte, waren ausdrücklich für den Sprung auf eine numerische Apertur über 0,5 gedacht. Und die EU-Kommission hat Deutschland am 20. Mai 2026 erlaubt, Zeiss dafür mit einem Direktzuschuss von 222 Millionen Euro zu fördern, für die Industrialisierung der nächsten EUV-Optiksäulen am Standort Oberkochen.
Wie genau die Spiegel wirklich sind, und was daran belegbar ist
Über die Präzision der Zeiss-Spiegel kursieren Zahlen in Pikometern. Zeiss selbst nennt keine. Das Unternehmen beschreibt die Genauigkeit ausschließlich in Vergleichen, und die sind aussagekräftig genug: Würde man einen EUV-Spiegel auf die Fläche Deutschlands vergrößern, wäre die größte Unebenheit, also gewissermaßen die Zugspitze, ganze 0,1 Millimeter hoch. Und würde man einen Laserstrahl über einen dieser Spiegel auf den Mond lenken, träfe man dort einen Golfball.
Was Zeiss in Zahlen ausweist: Das Beleuchtungssystem besteht aus rund 15.000 Einzelteilen und wiegt 1,5 Tonnen, die Projektionsoptik aus sechs Spiegeln und rund 20.000 Einzelteilen bei 2 Tonnen. Jeder Spiegel trägt bis zu 100 abwechselnde Schichten aus Silizium und Molybdän, wenige Nanometer dünn, und erreicht damit eine Reflektivität von bis zu 70 Prozent. Der Trumpf-Laser leistet 30 Kilowatt, etwa doppelt so viel wie Industrielaser, die zentimeterdicken Stahl schneiden, und ist damit der stärkste gepulste Industrielaser der Welt. Das Zinnplasma, das er erzeugt, erreicht rund 220.000 Grad Celsius.
Neu für die kommende Generation: Trumpf hat im Oktober 2025 einen neuen EUV-Hochenergielaser erstmals erfolgreich getestet und dafür von ASML den Lieferantenpreis in der Kategorie Technologie erhalten. Das Gerät besteht aus über 450.000 Einzelteilen, wiegt über 20 Tonnen und soll weniger Energie verbrauchen. Die Serienfertigung ist für 2026 vorgesehen, erste Auslieferungen an ASML ebenfalls.
Exportkontrolle: vier Punkte, die fast immer falsch dargestellt werden
Kaum ein Thema wird so oft falsch dargestellt wie die Ausfuhrbeschränkungen für Lithografietechnik. Vier Punkte gehören richtiggestellt, weil sie den ganzen Rest tragen.
Kein China-Verbot, sondern eine länderneutrale Regel
Die niederländische Regelung gilt für die Ausfuhr aus den Niederlanden in alle Bestimmungsländer außerhalb der EU. Die Regierung in Den Haag stellt ausdrücklich fest, dass es sich nicht um ein Ausfuhrverbot handelt, sondern um eine Genehmigungspflicht.
EUV steht gar nicht in der niederländischen Regelung
Sämtliche nationalen Lithografie-Positionen dort setzen eine Wellenlänge von 193 Nanometern oder mehr voraus. EUV mit 13,5 Nanometern fällt ausschließlich unter EU-Recht, nämlich unter die Position 3B001.f.1.a der Dual-Use-Güterliste.
Keine deutsche Sonderregelung für Zeiss oder Trumpf
Eine eigenständige deutsche Halbleiter-Ausfuhrverordnung gibt es nicht. Die früheren nationalen Nummern der Ausfuhrliste sind seit dem 15. November 2025 in den EU-Anhang I überführt. Genehmigt wird seither nach Artikel 3 der EU-Dual-Use-Verordnung.
Zulieferteile sind mit erfasst
Die Güterliste erfasst ausdrücklich auch besonders konstruierte Bestandteile und Zubehör, und sie verweist für optische Spiegel, die für Lithografieanlagen konstruiert sind, eigens auf die Lithografie-Position. Was die Ausfuhrbehörde im Einzelfall wie einstuft, veröffentlicht sie allerdings nicht.
Was sich 2026 tatsächlich geändert hat, ist wenig. Die Niederlande haben ihre Regelung zuletzt im November 2025 angepasst, seither nicht mehr. In den USA betraf keine der sechs Regeln der Ausfuhrbehörde aus dem Jahr 2026 die Lithografie oder Halbleiterfertigungsausrüstung, und die viel diskutierte Ausweitung auf Tochtergesellschaften gelisteter Unternehmen ist bis zum 9. November 2026 ausgesetzt. Der einzige Wert, der die Wirkung belegt: Im ersten Halbjahr 2026 entfielen von ASMLs Gesamtumsatz von 18,09 Milliarden Euro rund 2,88 Milliarden auf China, nach 3,71 Milliarden im Vorjahreshalbjahr.
Eine offene Frage, die der Bundestag selbst gestellt hat: Wie viele deutsche Ausfuhrgenehmigungen für Halbleiterfertigungsausrüstung nach China es in den Jahren 2024 bis 2026 gab, ist nicht öffentlich. Genau danach fragt eine Kleine Anfrage vom 25. Juni 2026. Eine Antwort der Bundesregierung lag am 28. Juli 2026 nicht vor. Diese Seite trägt sie nach, sobald sie erscheint.
Jenoptik, Leica Microsystems & Co., die anderen deutschen Champions
Zeiss und Trumpf sind die beiden Monopolisten, aber nicht die einzigen deutschen Unternehmen, die in der Halbleiterindustrie eine tragende Rolle spielen. Vor allem bei Messtechnik, Optik und Prozesskontrolle ist Deutschland breit aufgestellt.
Jenoptik AG
Börsennotierter Photonik-Konzern aus Jena, Nachfolger des DDR-Carl-Zeiss-Jena. Rund 40 % des Konzernumsatzes stammen aus dem Halbleitergeschäft, Tendenz steigend. Jenoptik liefert hochpräzise Mess- und Prüfsysteme, mikrooptische Komponenten und Lithografie-Prozesskontrolle an ASML, KLA, Applied Materials und andere Ausrüster. Der Konzern hat sein Halbleitergeschäft in den letzten Jahren strategisch ausgebaut und plant weitere Investitionen in Dresden und Jena.
Quelle: jenoptik.de · Jahresbericht 2024
Leica Microsystems GmbH
Seit 2005 Teil des US-Konzerns Danaher, aber Entwicklung und Fertigung weiterhin vollständig in Wetzlar. Leica baut die hochpräzisen optischen Mikroskope und Inspektionssysteme, mit denen Chiphersteller fertige Wafer auf Defekte prüfen, ein kritischer Schritt in der Qualitätskontrolle. Im Bereich der Wafer-Inspektion ist Leica einer der wenigen ernstzunehmenden Wettbewerber zu japanischen und amerikanischen Anbietern.
Quelle: leica-microsystems.com
Süss MicroTec SE
Börsennotierter Spezialist für Bonding-, Lithografie- und Beschichtungsanlagen, vor allem in der Advanced-Packaging-Technologie (Chiplets, 3D-Integration), die zunehmend wichtiger wird, je mehr die klassische Strukturverkleinerung an ihre Grenzen stößt. Süss hat eine starke Marktposition bei Waferbondern und Maskenlinern und wächst mit dem Boom der Chiplet-Technologien deutlich zweistellig.
Quelle: suss.com · Jahresbericht 2024
Aixtron SE
Börsennotierter Hersteller von MOCVD-Anlagen (Metallorganische Gasphasen-Epitaxie) für die Herstellung von Leistungshalbleitern auf Siliziumkarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN). Diese Halbleiter stecken heute in Elektroautos, Schnellladesäulen und Photovoltaik-Wechselrichtern. Aixtron ist in seinem Segment einer der zwei Weltmarktführer.
Quelle: aixtron.com
Die Kehrseite, NVIDIA, und warum wir nicht nur feiern sollten
Die ganze Geschichte wäre zu einseitig, wenn wir nur vom deutschen Monopol bei EUV-Maschinen reden würden. Denn so dominant Zeiss und Trumpf auf der einen Seite sind, so dramatisch abhängig ist Deutschland auf der anderen Seite, nämlich bei den Chips, die am Ende dieser Lieferkette herauskommen, und vor allem bei den KI-Chips, die seit 2023 die Weltwirtschaft umpflügen.
NVIDIA, das amerikanische Monopol, dem Deutschland nichts entgegenzusetzen hat
NVIDIA aus Santa Clara in Kalifornien ist 2024 kurzzeitig das wertvollste Unternehmen der Welt gewesen, mit einer Marktkapitalisierung, die zeitweise über 3 Billionen US-Dollar lag. Der Grund: NVIDIA hält beim wichtigsten Chiptyp des KI-Zeitalters, den KI-Beschleunigern (GPUs wie H100, H200, B100, B200), einen Weltmarktanteil von rund 85 bis 92 Prozent. OpenAI, Google DeepMind, Anthropic, Meta, Microsoft und inzwischen auch jedes bundesdeutsche Rechenzentrum mit KI-Ambitionen laufen auf NVIDIA-Hardware. Die Konkurrenz, AMD und Intel, sitzt ebenfalls in den USA.
Deutschland hat keinen einzigen Hersteller, der NVIDIA auch nur ansatzweise Paroli bieten könnte. Kein europäisches Unternehmen baut einen nennenswerten KI-Beschleuniger. Die deutschen Rechenzentren, die öffentlichen Hochschulen, die KI-Forschung, selbst KIPODE, sie alle laufen indirekt über NVIDIA. Das ist das genaue Spiegelbild der Zeiss-Trumpf-Stärke: Wir bauen die Maschinen, mit denen die Chips gemacht werden. Aber wir bauen nicht die Chips selbst, die heute das meiste Geld verdienen und die strategisch am wichtigsten sind.
Das ist kein Versagen einzelner Unternehmen, sondern die Folge einer jahrzehntelangen Technologie- und Industriepolitik, die den Rechnermarkt den USA überlassen hat. Und es ist die ehrliche Gegenrechnung zum Stolz auf Zeiss und Trumpf: Ohne Deutschland kein moderner Chip. Und ohne NVIDIA kein modernes Rechenzentrum. Beides stimmt gleichzeitig.
Was NVIDIA in Deutschland tatsächlich betreibt
Die Abhängigkeit hat inzwischen eine Adresse. Im Juni 2025 kündigte NVIDIA gemeinsam mit der Deutschen Telekom eine Industrial AI Cloud in Deutschland an, die beide Seiten als Partnerschaft über eine Milliarde Euro beschreiben. In einem vollständig sanierten Rechenzentrum in München werden dafür mehr als tausend Systeme mit bis zu 10.000 Grafikprozessoren der Blackwell-Generation installiert. Die Telekom rechnet damit, dass allein diese Anlage die für künstliche Intelligenz verfügbare Rechenleistung in Deutschland um rund 50 Prozent erhöht. Als Partner genannt werden unter anderem SAP, Siemens, Agile Robots, Wandelbots, Quantum Systems und Perplexity.
Beim Stand ist Vorsicht geboten. Belegt ist die Ankündigung, der Betrieb solle im ersten Quartal 2026 aufgenommen werden. Die vielfach genannten Angaben zu einem Eröffnungstag, zu einer Rechenleistung von einem halben ExaFLOPS und zu einer bereits erreichten Auslastung stehen in keiner Mitteilung der beiden Unternehmen und stehen deshalb auch nicht auf dieser Seite.
Der zweite große Anker steht in Jülich. Der Supercomputer JUPITER, betrieben vom Jülich Supercomputing Centre und im Eigentum des europäischen Gemeinschaftsunternehmens EuroHPC, arbeitet mit rund 24.000 NVIDIA-Superchips und wurde am 5. September 2025 in Anwesenheit des Bundeskanzlers eingeweiht. In der TOP500-Liste vom Juni 2026 erreicht er 1.000 PetaFLOPS gemessener Leistung, also exakt ein ExaFLOPS, bei 4,8 Millionen Rechenkernen. Die Kosten von 500 Millionen Euro für Anschaffung und sechs Jahre Betrieb teilen sich EuroHPC mit 250, der Bund mit 125 und Nordrhein-Westfalen mit 125 Millionen Euro.
Eine Platzierung, die man erklären muss: JUPITER ist von Platz 4 auf Platz 5 der Weltrangliste gefallen, obwohl seine gemessene Leistung von 793 auf 1.000 PetaFLOPS gestiegen ist. Der Grund ist ein chinesischer Neueinsteiger mit mehr als der doppelten Leistung. Wer den Platzverlust ohne diese Erklärung meldet, erzeugt genau das falsche Bild.
Insgesamt stehen 41 deutsche Systeme in der Liste vom Juni 2026, davon 18 mit NVIDIA-Beschleunigern, unter anderem an der Universität Erlangen-Nürnberg, der TU Dresden, beim Karlsruher Institut für Technologie, bei der Max-Planck-Gesellschaft und bei Aleph Alpha. Zwei weitere sind beschafft, aber noch nicht gelistet: Blue Lion am Leibniz-Rechenzentrum für 250 Millionen Euro mit Inbetriebnahme Anfang 2027 und HammerHAI am Höchstleistungsrechenzentrum Stuttgart für 55 Millionen Euro im zweiten Halbjahr 2026.
Der Prozentwert, den es nicht gibt
In fast jeder Debatte über europäische Rechensouveränität fällt eine Zahl: Europa habe nur vier, fünf, zehn oder fünfzehn Prozent der weltweiten KI-Rechenkapazität. Keine dieser Zahlen ist belastbar, und keine stammt von einer Behörde. Die Europäische Kommission formuliert im eigenen Aktionsplan rein qualitativ, Europa habe ein erhebliches Defizit bei großmaßstäblicher Recheninfrastruktur. Einen Prozentwert nennt sie nicht.
Der Grund ist methodisch und nicht politisch: Es gibt keine einheitliche Definition von KI-Rechenkapazität. Je nach Quelle wird die Anschlussleistung von Rechenzentren in Megawatt gemessen, die Rechenleistung bekannter Cluster, der Cloud-Umsatz europäischer Anbieter oder die Zahl ausgelieferter Server. Diese Größen sind nicht ineinander umrechenbar. Der am häufigsten zitierte Wert von 4,8 Prozent stammt aus einem Forschungsdatensatz, dessen Betreiber selbst schreibt, er erfasse nur etwa zehn bis zwanzig Prozent der weltweiten Kapazität und einzelne Länderanteile könnten um fünf Prozentpunkte oder mehr danebenliegen. Die Unsicherheit ist damit größer als der Wert selbst.
Was sich stattdessen belegen lässt, sind Beträge und Ziele. Die EU-Kommission will über die Initiative InvestAI 200 Milliarden Euro für KI-Investitionen mobilisieren und 20 Milliarden Euro für bis zu fünf sogenannte AI Gigafactories bereitstellen, jede mit rund 100.000 modernen KI-Chips. Die Standorte waren im Mai 2026 noch nicht vergeben, es lagen 77 Vorschläge aus 16 Mitgliedstaaten vor. In Deutschland gibt es zwei der europaweit 19 AI Factories, nämlich HammerHAI und die JUPITER AI Factory. Und die Bundesregierung hat sich im März 2026 vorgenommen, die deutschen Rechenzentrumskapazitäten bis 2030 mindestens zu verdoppeln und die Kapazitäten für künstliche Intelligenz und Hochleistungsrechnen zu vervierfachen.
Und eine Zahl, die niemand nennen kann, auch NVIDIA nicht: Wie viel Umsatz das Unternehmen in Deutschland macht, ist nicht ermittelbar. NVIDIA ordnet Umsätze dem Hauptsitz des direkten Kunden zu, nicht dem Ort der Nutzung. Im Geschäftsbericht für das im Januar 2026 endende Geschäftsjahr werden nur die Vereinigten Staaten, Taiwan, China samt Hongkong und eine Sammelposition „Übrige" ausgewiesen; auf diese Sammelposition entfallen für alle übrigen Länder der Welt zusammen 4,3 von 215,9 Milliarden US-Dollar. Deutsche Umsätze stecken also überwiegend in den Zeilen Vereinigte Staaten und Taiwan, weil dort die Konzernzentralen der Serverhersteller und Cloud-Anbieter sitzen. Auch eine Beschäftigtenzahl für Deutschland veröffentlicht NVIDIA nicht, obwohl es Standorte in Berlin, München und Würselen unterhält. Wer eine solche Zahl nennt, hat sie geschätzt.
Es gibt vereinzelte europäische Ansätze, das französische Start-up Kalray, das britische Graphcore (2024 von SoftBank übernommen), der europäische Prozessor-Konsortium European Processor Initiative (EPI), aber keines davon ist bisher im Massenmarkt angekommen. Wer die nächsten zehn Jahre strategisch denkt, sollte sich darüber klar sein: Das deutsche Chip-Monopol bei EUV ist ein enormes Pfund, aber kein Ersatz für die fehlende Präsenz bei KI-Beschleunigern. Beides muss man nebeneinander halten.
Die Entwicklung in einer Zeitleiste
- 1846, Gründung des Optischen Instituts Carl Zeiss in Jena durch Carl Zeiss. Der Grundstein für die Zeiss-Optikkompetenz.
- 1923, Gründung von Trumpf in Stuttgart als kleine Werkzeugmaschinenfabrik. Die Laser-Sparte kommt erst in den 1980er Jahren dazu.
- 1984, ASML wird im niederländischen Veldhoven als Gemeinschaftsunternehmen von Philips und Advanced Semiconductor Materials gegründet. Der Partner für die Optik: Zeiss.
- 1997, Beginn der gemeinsamen EUV-Entwicklung zwischen ASML, Zeiss und Trumpf. Das Forschungsprogramm läuft über 17 Jahre und kostet rund 9 Milliarden Euro.
- 2010, Erster EUV-Prototyp wird bei Kunden aufgestellt. Die Technik funktioniert zwar grundsätzlich, aber Durchsatz und Zuverlässigkeit sind noch nicht produktionstauglich.
- 2016, ASML übernimmt rund 24 Prozent an Zeiss SMT und investiert zusätzlich rund 1 Milliarde Euro in die Entwicklung, ein industriegeschichtlich seltenes Bekenntnis zu einem deutschen Zulieferer.
- 2017, Erste EUV-Scanner werden im echten Produktionsbetrieb eingesetzt (TSMC, Samsung). Der 7-nm-Knoten ist der erste, der auf EUV basiert.
- 2020, TSMC produziert die ersten 5-nm-Chips (A14 Bionic für Apple iPhone 12) mit EUV-Scannern von ASML, Optik von Zeiss, Laser von Trumpf.
- 2022, 3-nm-Produktion startet bei TSMC, ebenfalls ausschließlich mit EUV. Ein einzelner 3-nm-Wafer enthält bis zu 20 Belichtungsschritte mit EUV.
- 2024, Intel und ASML schließen die Integration des ersten kommerziellen High-NA-Systems am Standort Hillsboro in Oregon ab. Die numerische Apertur steigt von 0,33 auf 0,55. Auch hier kommt die gesamte Optik aus Oberkochen. Einen Systempreis weist ASML nicht aus.
- 2025, Zeiss SMT eröffnet in Oberkochen ein neues Hochpräzisions-Zentrum für die High-NA-EUV-Optiken. Rund 600 Millionen Euro Investition. Keine öffentliche Förderung, voll privat finanziert.
- 2026, Weltweit sind rund 250 EUV-Scanner ausgeliefert. Fast jeder moderne Chip, vom iPhone-Prozessor bis zur NVIDIA-H100, hat deutsche Optik und deutschen Laser gesehen.
Warum das strategisch so wichtig ist
Halbleiter sind das Betriebsmittel des 21. Jahrhunderts. Sie stecken in Autos, Windrädern, Wärmepumpen, Smartphones, Satelliten, Raketen, Rechenzentren, Kampfflugzeugen und in jedem KI-Modell, das heute weltweit trainiert wird. Wer die Maschinen kontrolliert, mit denen Halbleiter gefertigt werden, sitzt an einem der strategisch wichtigsten Punkte der gesamten Weltwirtschaft.
Das wurde spätestens 2023 öffentlich sichtbar, als die USA im Rahmen ihrer China-Exportkontrollen verlangten, dass ASML keine EUV-Scanner mehr an chinesische Kunden liefert. ASML hielt sich daran, weil die Niederlande und die EU dem Druck folgten, aber auch weil die kritischen Komponenten (Zeiss-Optik, Trumpf-Laser) unter deutschen Exportkontrollen stehen. Ohne diese deutsche Technik hätten die USA diesen Hebel nicht, und China hätte schneller aufschließen können. Das ist keine abstrakte geopolitische Überlegung: Es ist der Grund, warum die US-Regierung seit Jahren Lobbyarbeit in Berlin und Den Haag betreibt.
Gleichzeitig zeigt diese Geschichte, wie fragil solche Positionen sein können. China investiert seit 2020 jährlich rund 50 Milliarden Dollar in den Aufbau einer eigenen Halbleiter-Ausrüsterindustrie, und es gibt erste chinesische Versuche, EUV-ähnliche Verfahren zu entwickeln. Dass diese Versuche mit hoher Wahrscheinlichkeit noch mindestens ein Jahrzehnt brauchen, bis sie produktionsreif sind, ändert nichts daran, dass sie existieren. Deutschland darf sich auf dem Zeiss-Trumpf-Vorsprung nicht ausruhen, im Gegenteil, er muss politisch und finanziell verteidigt werden.
Ausblick, was bis 2030 kommt
- 2026/27, Hochlauf der High-NA-EUV-Scanner in Produktionsumgebungen. Zeiss SMT liefert die neuen Optiken parallel zur klassischen EUV-Generation. Erster High-NA-Einsatz bei Intel in Oregon.
- 2027, TSMC, Samsung und Intel beginnen die Produktion auf dem 2-nm-Knoten. Vollständig auf EUV angewiesen.
- 2028 bis 2029, Erste Halbleiterproduktion auf dem 1,4-nm-Knoten (bei Intel intern „Intel 14A"). Noch mehr EUV-Belichtungsschritte pro Wafer, noch mehr Zeiss- und Trumpf-Komponenten pro Chip.
- Bis 2030, Der Weltmarkt für EUV-Scanner dürfte sich laut ASML-Prognose gegenüber 2024 mehr als verdoppeln. Jede dieser zusätzlichen Maschinen trägt Komponenten aus Oberkochen und Ditzingen. Die Wertschöpfung, die in Deutschland entsteht, wächst parallel mit.
- Offene Flanke, Keine der hier genannten Firmen baut einen KI-Beschleuniger. Die NVIDIA-Abhängigkeit bleibt. Ob es bis 2030 einen europäischen Ansatz gibt, der diese Lücke schließt, ist offen.
Silicon Saxony und die deutsche Chip-Geschichte, ein zusammenhängendes Bild
Diese Seite erzählt die eine Hälfte der deutschen Chip-Geschichte: das unsichtbare Monopol im Süden und in Thüringen, bei den Ausrüstern. Die andere Hälfte steht in Dresden. Dort werden seit rund 30 Jahren Halbleiter tatsächlich gefertigt, bei Infineon, GlobalFoundries, Bosch, demnächst bei ESMC/TSMC. Silicon Saxony ist der Kunde von Zeiss und Trumpf: Jeder EUV-Scanner, der nach Dresden geliefert wird, ist mit deutscher Optik und deutschem Laser ausgestattet.
Das ist ein seltener Fall industrieller Symmetrie. Baden-Württemberg und Thüringen liefern die Werkzeuge, Sachsen fertigt damit. Beide Enden sitzen in Deutschland, und das ist bei der Tiefe moderner Lieferketten ungewöhnlich. Zusammengenommen ergibt sich ein Bild, das in der öffentlichen Debatte fast nie auftaucht: Deutschland ist in der Halbleiterindustrie nicht „abgehängt". Deutschland ist an beiden Enden der europäischen Halbleiter-Wertschöpfungskette stärker vertreten als jedes andere Land der EU. Nur eben leise, geduldig und ohne große Bühne. → Mehr dazu auf der Themenseite Silicon Saxony.
Häufig gestellte Fragen zu Chips aus Deutschland
Warum kann kein moderner Chip ohne Deutschland produziert werden?
Jede moderne Chipfertigung unterhalb von 7 Nanometern Strukturbreite setzt EUV-Lithografie (Extrem-Ultraviolett) ein. Die EUV-Scanner werden weltweit nur von einem Hersteller gebaut: ASML im niederländischen Veldhoven. Die Optik dieser Maschinen, das Herzstück, kommt ausschließlich von Carl Zeiss SMT in Oberkochen (Baden-Württemberg). Die Lichtquelle (CO2-Laser mit rund 30 Kilowatt) stammt vollständig von Trumpf aus Ditzingen. Ohne beide deutsche Zulieferer gibt es keinen einzigen 3-nm- oder 2-nm-Chip, weder bei TSMC in Taiwan, noch bei Intel in Arizona, noch bei Samsung in Südkorea.
Was ist Zeiss SMT genau?
Carl Zeiss SMT (Semiconductor Manufacturing Technology) ist eine Sparte der Carl Zeiss AG mit Hauptsitz in Oberkochen, Baden-Württemberg. SMT liefert als einziger Anbieter weltweit die Abbildungs- und Beleuchtungsoptik für EUV-Lithografiemaschinen an ASML. Die Optik besteht aus Dutzenden ultrapräzise geschliffener Spiegel mit Abweichungen im Bereich weniger Atomlagen. 2016 hat ASML sich mit rund 24 Prozent an Zeiss SMT beteiligt, um die Versorgungssicherheit zu garantieren.
Was macht Trumpf für die Chipindustrie?
Trumpf aus Ditzingen bei Stuttgart ist Weltmarktführer für industrielle Laser. Für die EUV-Lithografie liefert Trumpf den Hochleistungs-CO2-Laser, der in einer EUV-Lichtquelle 50.000 Mal pro Sekunde winzige Zinntropfen verdampft. Der dabei entstehende Plasmablitz gibt extrem-ultraviolettes Licht mit 13,5 Nanometern Wellenlänge ab, das Licht, mit dem dann die Chipstrukturen belichtet werden. Trumpf hält hier ein Weltmonopol und hat den Laser über Jahrzehnte gemeinsam mit Zeiss und dem Fraunhofer-Institut für Lasertechnik entwickelt.
Wo ist Deutschland in der Chipindustrie dagegen abhängig?
Deutschland hat keinen einzigen nennenswerten Hersteller von KI-Grafikprozessoren (GPUs). Der Weltmarkt für KI-Chips wird vollständig von NVIDIA dominiert (USA), mit Abstand gefolgt von AMD und Intel, ebenfalls USA. Europäische Rechenzentren, deutsche Unternehmen, deutsche Forschungsinstitute und auch KIPODE selbst laufen indirekt auf NVIDIA-GPUs. Diese Abhängigkeit ist das Spiegelbild der Zeiss-Trumpf-Stärke: Wir bauen die Maschinen, mit denen die Chips gemacht werden, aber nicht die Chips selbst, die heute das meiste Geld verdienen.
Was ist Jenoptik?
Jenoptik AG mit Hauptsitz in Jena (Thüringen) ist einer der wenigen deutschen Photonik-Konzerne, die börsennotiert sind. Für die Halbleiterindustrie liefert Jenoptik hochpräzise Messtechnik, Mikro-Optiken und Komponenten für die Lithografie-Prozesskontrolle. Rund 40 Prozent des Konzernumsatzes stammen aus dem Halbleitergeschäft, Tendenz steigend. Jenoptik beliefert unter anderem ASML, KLA und Applied Materials.
Warum ist das strategisch so wichtig?
Halbleiter sind das Betriebsmittel des 21. Jahrhunderts, sie stecken in Autos, Windrädern, Wärmepumpen, Smartphones, Panzern, Satelliten und in jedem KI-Modell. Wer die Maschinen kontrolliert, mit denen Halbleiter gefertigt werden, sitzt an einem der strategisch wichtigsten Punkte der Weltwirtschaft. Die USA haben 2023 versucht, Exporte von EUV-Scannern nach China zu verbieten, und konnten das nur durchsetzen, weil ASML, Zeiss und Trumpf westlichen Exportkontrollen unterliegen. Ohne die deutsche Technik gäbe es diesen Hebel nicht.
Was liefern Zeiss und Trumpf an ASML?
Zeiss liefert die Optik, Trumpf die Lichtquelle. Carl Zeiss SMT in Oberkochen baut die komplette Spiegeloptik jedes EUV-Scanners, Trumpf in Ditzingen den CO2-Hochleistungslaser, der das EUV-Licht erzeugt. Zusammengebaut werden die Maschinen bei ASML im niederländischen Veldhoven. Beide deutschen Zulieferer sind weltweit die einzigen Anbieter ihrer Komponente, eine Alternative gibt es nicht. ASML hat sich 2016 mit rund 24 Prozent an Zeiss SMT beteiligt, um die Versorgung abzusichern.
Was hat Trumpf mit EUV-Lithografie zu tun?
Trumpf baut den Laser, ohne den kein EUV-Licht entsteht. Der CO2-Hochleistungslaser aus Ditzingen verdampft in der Lichtquelle 50.000 Mal pro Sekunde winzige Zinntropfen zu Plasma. Dieses Plasma strahlt extrem-ultraviolettes Licht mit 13,5 Nanometern Wellenlänge ab, mit dem die Chipstrukturen belichtet werden. Trumpf hat den Laser über Jahrzehnte gemeinsam mit Zeiss und dem Fraunhofer-Institut für Lasertechnik entwickelt und hält darauf ein Weltmonopol.
Quellen & weiterführende Links
- Carl Zeiss SMT, offizielle Seite der Halbleitersparte
- Trumpf, EUV-Lithographie-Anwendungsseite
- ASML, How EUV lithography works
- ASML / Zeiss Pressemitteilung 2016, strategische Partnerschaft
- Jenoptik AG, Unternehmensseite
- Leica Microsystems, Wafer-Inspektion
- Süss MicroTec SE, Advanced Packaging
- Aixtron SE, SiC- und GaN-Epitaxie
- Bundesministerium für Wirtschaft & Klimaschutz, Mikroelektronik-Dossier
- Fraunhofer, Forschungsfeld Mikroelektronik
- Europäische Kommission, Europäisches Chip-Gesetz
- NVIDIA Corporation, Unternehmensseite (USA)
- ASML, High NA EUV reaches new readiness milestone (15.07.2026, erstes Serienprodukt aus High-NA-Fertigung bei Intel)
- ASML, Produktseiten TWINSCAN EXE:5000 und EXE:5200B (numerische Apertur 0,55, Auflösung 8 nm, Transistordichte)
- ASML, Form 20-F für das Geschäftsjahr 2025 (Zeiss SMT als alleiniger Optiklieferant, Beteiligung 24,9 Prozent, Vorauszahlungen)
- Europäische Kommission, Beihilfeentscheidung SA.119615 (20.05.2026, 222 Mio. Euro für Zeiss, Projekt HNA@SCALE)
- Trumpf, ASML honors TRUMPF for new EUV laser (24.10.2025, Serienfertigung ab 2026)
- Zeiss SMT, Kapazitätsausbau Oberkochen (24.07.2026)
- Delegierte Verordnung (EU) 2025/2003 (EU-Dual-Use-Güterliste, Position 3B001.f, in Kraft seit 15.11.2025)
- Deutsche Telekom, Launch Industrial AI Cloud with NVIDIA (04.11.2025, München, bis 10.000 GPUs, 1 Mrd. Euro)
- Forschungszentrum Jülich, Supercomputer JUPITER (Kosten, Finanzierung, Leistungsangaben) und TOP500-Liste Juni 2026
- NVIDIA, Form 10-K für das Geschäftsjahr 2026 (Umsatz nach Regionen, kein Deutschland-Ausweis)
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KI Nein danke! Oder doch?
Du nimmst heute einen 20-Jahres-Kredit fürs Haus auf, und gehst davon aus, dass dein Job so lange existiert. Tut er das?
Bis zu 99 % der heutigen Berufe werden sich radikal verändern oder ganz verschwinden. Nicht irgendwann, sondern in zwei klaren Schritten: Zuerst übernimmt die Software die Schreibtische, Buchhalter, Makler, Verwaltung. Dann kommen die Roboter für den Rest: Pflege, Handwerk, Logistik, Küche.
Dieses Buch ist kein Fachbuch und kein Horrorszenario. Es ist eine ehrliche Bestandsaufnahme, geschrieben für Menschen mit 40-Stunden-Woche, Pendlerstress und leerem Akku am Abend. 5 Kapitel, 260 Seiten.